April 30, 2012, 10:01 pm

اجرى فريق بحثي متخصص من دائرة بحوث المواد في وزارة العلوم والتكنولوجيا دراسة علمية للاستفادة من بلازما التفريغ المتوهج لغاز سادس فلوريد الكبريت في حفر شرائح من السليكون، حيث تم دراسة تأثير ضغط ومعدل اضافة الغاز على معدلات الحفر.
ويعتبر حفر اخاديد في السيليكون ذات المقطع المائل خطوة مهمة في تصنيع المتسعات لوحدات الذاكرة والعناصر المتكاملة للانظمة الالكتروميكانيكية الدقيقة، ويساعد المقطع المائل للحفر على تجانس الطلاء لمراحل التصنيع اللاحقة. وقد توصل عدد من الباحثين الى امكانية التحكم بعمق وزاوية ميل هذه الاخاديد من خلال التحكم بنسب الغازات المستخدمة وصولا الى انسبها والتي كانت عند 10% اوكسجين.